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LuphoScan非接觸3D非球面光學(xué)面形測(cè)量系統(tǒng)
LuphoScan非接觸3D非球面光學(xué)面形測(cè)量系統(tǒng)

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LuphoScan測(cè)量平臺(tái)是一款基于多波長(zhǎng)干涉技術(shù)(MWLI®)的干涉式掃描測(cè)量系統(tǒng)。它專(zhuān)為旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)表面的超精密非接觸式3D形狀測(cè)量而設(shè)計(jì),例如非球面光學(xué)透鏡。該系統(tǒng)能為高質(zhì)量的光學(xué)表面3D形狀測(cè)量提供**效益。

特征

LuphoScan平臺(tái)能夠輕松進(jìn)行非球面、球面、平面和自由曲面的測(cè)量。該儀器的主要特性包括高速測(cè)量、特殊表面的高靈活度測(cè)量(例如:拐點(diǎn)的輪廓或平坦的尖點(diǎn)),**物體直徑可達(dá)420mm。因?yàn)椴捎枚嗖ㄩL(zhǎng)干涉技術(shù)(MWLI®)傳感器技術(shù),因此能夠掃描各種表面類(lèi)型如透明材料、金屬部件和研磨表面。

測(cè)量精度

該系統(tǒng)使用了復(fù)雜的參考傳感器以及特殊的基準(zhǔn)框架概念,能夠確保**精度的測(cè)量結(jié)果,精度可在±50nm以上。

高速測(cè)量

典型測(cè)量時(shí)間:30mm直徑球面小于2分鐘,130mm直徑球面小于5分半鐘。

主要應(yīng)用領(lǐng)域

LuphoScan測(cè)量系統(tǒng)用于測(cè)量可旋轉(zhuǎn)的對(duì)稱(chēng)表面的3D拓?fù)浣Y(jié)構(gòu),例如凹面球面透鏡和凸面球面透鏡。測(cè)量工作臺(tái)的設(shè)計(jì)能夠確保測(cè)量大多數(shù)的透鏡,而不受任何球形偏離、罕見(jiàn)頂端形狀(平頭)、傾斜或者發(fā)射點(diǎn)圖的限制。

除了標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)量應(yīng)用外,還可以使用LuphoScan測(cè)量平臺(tái)的特殊擴(kuò)展工具LuphoSwap不同擴(kuò)展功能,來(lái)完成多種光學(xué)要素特征的測(cè)量。該工具能夠輔助測(cè)量透鏡厚度,以及楔形與偏心誤差。除此之外,額外的附加軟件類(lèi)型能夠直接測(cè)量間斷的透鏡,如分段表面包括矩形部件、環(huán)形透鏡、有衍射階梯的表面和錐透鏡。

多樣化的測(cè)量平臺(tái)配置

LuphoScan測(cè)量平臺(tái)技術(shù)能夠提供三種不同大小和不同測(cè)量配置的選擇。測(cè)量平臺(tái)大小能夠決定**被測(cè)物體。**測(cè)量直徑可選:120mm、260mm420mm。

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