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結(jié)構(gòu)

特點(diǎn)

帶蒸汽發(fā)生器作為吸附氣氣源

外氣室為不銹鋼模塊，帶恒溫箱（室溫~50°C）

蒸汽吸附系統(tǒng)，抽真空時經(jīng)過冷阱

密封件采用全氟O形圈

功能

低溫氮吸附法，比表面及孔徑分布測試

各種氣體和蒸汽的吸附等溫線測試

等量吸附熱測定

氣體選擇性吸附系數(shù)測定

技術(shù)參數(shù)

測試原理靜態(tài)容量法

測試范圍比表面≥ 0.01m2/g

介孔 2 ~500nm（BJH法）

微孔 0.35 ~2 nm (T圖法、DR法、MP法、DA法、

HK法、SF法、NLDFT法)

氣體種類氮、氬、氪、CO2、CO、氨、苯、甲烷、乙醇、甲醛、水蒸汽等（有強(qiáng)烈腐蝕、劇毒、危險氣體除外）

氣體發(fā)生器當(dāng)吸附質(zhì)在常溫常壓下是液體時，可通過氣體發(fā)生器

形成吸附質(zhì)蒸汽，滿足進(jìn)行氣體吸附測試的要求

吸附壓力 P/Po < 1 （Po吸附質(zhì)在吸附溫度下的飽和蒸汽壓）

真空泵進(jìn)口特種耐腐蝕二級旋片式真空泵，極限真空10^-1Pa

分子泵

壓力傳感器 1000 Torr、10Torr、1Torr

吸附溫度液氮杯提供液氮溫度測試條件，半導(dǎo)體恒溫水浴提供 0°~ 50°C 測試條件

進(jìn)氣數(shù)量按客戶要求，提供4×n 個（4、8、12）獨(dú)立進(jìn)氣口

氣體回收有害氣體通過冷阱回收（冷阱溫度77K），確保環(huán)境和機(jī)械泵油免受污染

預(yù)處理真空原位預(yù)處理，溫度≤400°C±1°C