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高精度表面粗糙度測試儀器
高精度表面粗糙度測試儀器

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上海標卓科學儀器有限公司

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一、高精度表面粗糙度測試儀器原理:

高精度表面粗糙度測試儀器由二部分組成:

1- 1.采樣部分

這是機電一體化儀器中的精密部份。它分成:

A.驅(qū)動機構(gòu)_用PC 送出控制訊號操縱精密伺服馬達帶動傳感器在工件上作直線掃描。

測量長度則根據(jù)不同截止波長,由使用者根據(jù)工件及標準確定。

B.精密傳感器_本機采用差動式電感傳感器 。

C.立柱_自動升降,精密定位在傳感器測量零位上.

D.探針_在被測工件上掃描由工件表面輪廓不 平而形成上下位移,使傳感器中磁回路間隙改變導致電感變化,形成微弱訊號。

1-2.信號轉(zhuǎn)換

傳感器輸出的微弱訊號經(jīng)放大、鑒相后,經(jīng)過低通濾器及根據(jù)高斯濾波器特性而設計的長波段濾波網(wǎng)絡,輸出模擬訊號分成二路。R參數(shù);輪廓參數(shù)分別由USB數(shù)據(jù)采樣卡內(nèi)的16位A/D轉(zhuǎn)換處理,形成數(shù)字信息,經(jīng)USB輸至PC運算處理,顯示打印。

二、技術(shù)參數(shù):

主要技術(shù)指標

JJF1105-2003高精度表面粗糙度測試儀器校準規(guī)范

測量參數(shù)

RaRz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2……

**測量長度

25mm;50mm

直線度測量精度

0.4μm

濾波器

高斯(Gaussian)濾波器(ISO11562:1996),2RC濾波器

截止波長

0.25,0.8,2.5

測量重復性

3%

相對示值誤差

±5%

示值穩(wěn)定性

3%

測量長度

λc ╳3、4、5、6、71.0-17.5mm

測量范圍

640μm

分辨率

0.001μm

測量速度

0.1mm/s0.32mm/s,0.5mm/s

返回速度(自動)

1mm/s

傳感器針尖

R=2μm鉆石(測量力1mN);R=5μm鉆石(測量力4mN

三、高精度表面粗糙度測試儀器操作系統(tǒng)

Profile軟件必須在Windows XP平臺下工作

2-1系統(tǒng)功能

高精度表面粗糙度測試儀器本系統(tǒng)可以根據(jù)不同的傳感器分別提供兩種測量類型:

2-1-1粗糙度

可選擇三種不同截止波長及掃描長度見下表:

*截止波長(可選)

測量速度

(根據(jù)截止波長定)

*掃描長度(可選)

0.25mm

0.1mm/S

1.0 mm

1.25mm

1.5 mm

1.75mm

0.8 mm

0.32mm/S

3.2 mm

4.0 mm

4.8 mm

5.6 mm

2.5 mm

0.5mm/S

10.0mm

12.5mm

15.0mm

17.5 mm

測量系統(tǒng)可提供下列粗糙度數(shù)據(jù):

Ra, Rz, Rmax, Rt, Rp, Rpm, Rz(jis), Rv, R3z, Rs, Rsm, Rsk, R, Rk, Rpk,Rvk,Mr1,Mr2, Rmr曲線及內(nèi)燃機專用曲線。

*2-1-2、輪廓(需配輪廓傳感器)

* 測量范圍:(視不同輪廓傳感器)

0--1000μm ,0—2000μm

掃描長度:1.0mm, 1.5mm, 2.0mm, 3.0mm, 4.0mm, 5.0mm, 5.0mm, 6.0mm, 7.0mm, 8.0mm, 9.0mm, 10.0mm, 15.0mm

**根據(jù)用戶特殊要求,特提供圓弧面上測量粗糙度專用檔“曲面”,但其數(shù)據(jù)目前階段,除了采用平面樣板校正之外,,因無更妥當辦法驗證,只能僅供參考。

曲面粗糙度:從0.08檔至0.8mm

掃描長度從:0.5mm-4.8mm

線性范圍: 寬達0-800μm。

2-2系統(tǒng)運行的軟、硬件環(huán)境

系統(tǒng)要求*低系統(tǒng)配置:主機Pentium II或 賽楊系列(CPU主頻≥700)

128M RAM, WINDOWS XP中文版

2-3計算機軟、硬件的安裝

2-3-1.安裝Profile軟件前必須先安裝加密鎖。

高精度表面粗糙度測試儀器加密鎖安裝方法如下:首先把本機加密鎖插入USB接口中。

2-3-2.在C盤(并不限于C盤)的根目錄下建立JB6C目錄。

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