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隨著半導(dǎo)體技術(shù)的電子技術(shù)工藝的發(fā)展，電子產(chǎn)品都往小型化，輕薄化發(fā)展。iWatch的一經(jīng)推出，穿戴電子產(chǎn)品成為了一個(gè)新的電子設(shè)備應(yīng)用潮流。隨著電子產(chǎn)品的小型化，器件體積越做越小，空間就緊湊起來(lái)，這對(duì)器件加工尺寸及工藝的容差要求就越來(lái)越高。如何管控器件的尺寸及加工工藝對(duì)檢測(cè)手段提出了新的挑戰(zhàn)。原來(lái)很多制程工序只要管控2D的尺寸，現(xiàn)在需要管控3D的尺寸，而且精度要求都在微米級(jí)別，這就需要一個(gè)高速、高精度的測(cè)量手段來(lái)管控生產(chǎn)品質(zhì)。
卓立漢光的3D形貌測(cè)試儀應(yīng)運(yùn)而生，這款儀器采用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術(shù)，能夠高精度還原產(chǎn)品的3D結(jié)構(gòu)，對(duì)肉眼不可見(jiàn)的結(jié)構(gòu)缺陷都能準(zhǔn)確檢測(cè)。因?yàn)榫哂休^快的掃描速度，微米級(jí)別的精度和超強(qiáng)的穩(wěn)定性，一經(jīng)推出立馬成為精密生產(chǎn)商的新寵。在精密鑄件、精密點(diǎn)膠、3D玻璃，半導(dǎo)體缺陷檢測(cè)和多層光學(xué)薄膜厚度檢測(cè)，就是這款產(chǎn)品的主要應(yīng)用領(lǐng)域。
卓立漢光長(zhǎng)期專注于光譜技術(shù)的應(yīng)用研發(fā)，3D形貌測(cè)試儀就是常年實(shí)踐積累的成果（利號(hào)：CN207556477U）。該項(xiàng)技術(shù)，具有以下優(yōu)點(diǎn)：
技術(shù) | 線性共焦光譜技術(shù) | 點(diǎn)測(cè)技術(shù) | 激光掃描 | 3D相機(jī) |
速度 | 1000 line/s | 1000 point/s | 1000 line/s | 多角度拍照快 |
掃描寬度 | 6.5mm/20mm | 點(diǎn) | 可選 | 大 |
分辨率 | 1um | 1um | 30um | 100um |
界面層數(shù) | 多層 | 多層 | 表面 | 表面 |
建模 | 否 | 否 | 否 | 是 |
數(shù)據(jù)量 | 大 | 大 | 少 | 少 |
鷹眼系列3D形貌測(cè)試儀主要特點(diǎn)有：
1、非接觸性測(cè)量；
2、線掃描，高效率；
3、微米級(jí)精度；
4、滿足透明面及高對(duì)比度表面測(cè)試；
5、支持二次開(kāi)發(fā)；
鷹眼系列3D形貌測(cè)試儀主要應(yīng)用
1、精密部件3D尺寸及段差測(cè)試；
2、精密點(diǎn)膠膠線截面、膠線寬度、膠線高度測(cè)試；
3、3D玻璃缺陷檢測(cè)；
4、半導(dǎo)體表面缺陷測(cè)試；
5、多層薄膜厚度測(cè)試；
3D形貌測(cè)試儀產(chǎn)品型號(hào)及規(guī)格
HawkEye-1300 | HawkEye-5000 | |
方式 | 共焦光譜 | 共焦光譜 |
精度 | 1um | 8um |
重復(fù)性 | ±0.3um | ±4um |
線掃寬度 | 6.5mm | 20mm |
Z軸量程范圍 | 1.3mm | 5mm |
掃描速度 | 300line/s(Max:1000line/s) | 300line/s(max:1000line/s) |
重量 | 5Kg | 8Kg |
尺寸 | 460X300X140mm | 460X300X140mm |
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