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Park NX Hybrid WLI
Park NX Hybrid WLI

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面議

型號

Park NX Hybrid WLI

品牌

Park

產(chǎn)地

韓國

樣本

暫無
韓國帕克股份有限公司

會員

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第4年

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Park NX-Hybrid WLI

全自動工業(yè) WLI-AFM 系統(tǒng)

Park NX Hybrid    WLI是有史以來**款具有內(nèi)置WLI輪廓儀的AFM,用于半導(dǎo)體和相關(guān)制造質(zhì)量保證。例如半導(dǎo)體前端、后端到高級封裝的過程控制,以及研發(fā)計量。它適用于那些需要在大面積上進行高吞吐量測量的設(shè)備,這些設(shè)備可以縮小到具有亞納米分辨率和超高精度的納米級區(qū)域。  

56.jpg

半導(dǎo)體計量的兩種**互補技術(shù)。

  • WLI:      白光干涉測量是一種光學(xué)技術(shù),它可以對非常寬的區(qū)域進行成像,速度非??欤瑵M足高吞吐量測量。

  • AFM:      原子力顯微鏡是一種掃描探針技術(shù),即使對透明材料也能提供*精確的納米級分辨率測量。

98.png

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微信圖片_20220602113227.png


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