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CVD管式爐，氣相沉積管式爐

本款CVD管式爐工作溫度為300℃至1600℃，配備真空泵，氣體混合裝置。我們的CVD管式爐采用了先進(jìn)的溫度控制系統(tǒng)，高溫精度，出色的氣體流量精度，易于操作，出色的隔熱效果和溫度均勻性。 主要用于大學(xué)，研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)。

高溫真空管式爐特點(diǎn)

• **溫度：
  1200℃（HRE電阻絲加熱）
  1400℃ （硅碳棒加熱）
  1600℃ （硅鉬棒加熱）

• 智能化51段可編程自動(dòng)控制

• 雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)；爐殼表面溫度低于50℃

• 304不銹鋼雙層密封法蘭

• 兩端可調(diào)節(jié)法蘭支撐結(jié)構(gòu)，延長(zhǎng)爐管使用壽命

• 超溫保護(hù)功能，當(dāng)溫度超過(guò)允許設(shè)定值自動(dòng)斷電

• 安全保護(hù)當(dāng)爐體漏電時(shí)自動(dòng)斷電

• 升溫速率≦20 ℃ /分

• 控溫精度±1 ℃

• **真空度-0.08MPa

• 配置分子泵機(jī)組，真空度可達(dá)7×10^(-3)Pa

CVD管式爐配套設(shè)備

多路氣體控制柜

質(zhì)量流量計(jì)配氣柜

真空管式爐技術(shù)規(guī)格

Ⅰ. 技術(shù)參數(shù)
**工作溫度	1600℃ (<2小時(shí))
溫度儀表	● 人工智能PID儀表，自動(dòng)控制溫度。雙向反并聯(lián)可控硅調(diào)壓，對(duì)電爐溫度進(jìn)行精準(zhǔn)控制，并具有限流功能。防止供電電壓不穩(wěn)，電流突然過(guò)大引起跳閘，燒損電氣元件等。 （我公司采用的可控硅為國(guó)際優(yōu)秀品牌：西門(mén)康） ● 51段編程曲線(xiàn)，根據(jù)預(yù)置程序自動(dòng)升溫、保溫、降溫。一鍵完成，無(wú)需工人值守。 ● 內(nèi)置控溫參數(shù)自整定功能。. ● 具有超溫報(bào)警，熱電偶斷裂報(bào)警，并自動(dòng)切斷供電電源，提供可靠保護(hù)。
控溫精度	±1℃
加熱速率	0-20℃/分鐘
熱電偶	B型(雙鉑銠) ，熱電偶保護(hù)管為純度 99.7%的剛玉管
加熱元件	高純硅鉬棒
普通真空	-0.08MPa
高真空	7×10^(-3)Pa （分子泵）
配套設(shè)配	氣體混合控制柜，質(zhì)子流量計(jì)，浮子流量計(jì)
爐膛	三層全纖維爐襯，構(gòu)成整個(gè)爐膛 ● **層: 1800型多晶氧化鋁陶瓷纖維。保證爐膛足夠的強(qiáng)度，又確保具有極好的隔熱效果。 ● 第二層: 1430型多晶氧化鋁陶瓷纖維。 ● 第三層: 保溫棉若干。
爐殼結(jié)構(gòu)	● 高強(qiáng)度碳鋼制作而成，酸洗磷化除銹后，靜電噴塑，美觀(guān)大方。 ● 雙層風(fēng)冷爐殼，內(nèi)置2-4個(gè)散熱風(fēng)機(jī)，確保爐殼表面溫度低于60℃.
產(chǎn)品保修	1. 自驗(yàn)收之日起，高溫箱式爐整機(jī)免費(fèi)保修一年。如果設(shè)備出現(xiàn)問(wèn)題，現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行維修，終身提供技術(shù)支持！ 2. 超出保修期后，成本價(jià)提供配件。

1200℃ CVD管式爐標(biāo)準(zhǔn)尺寸

1400℃ CVD管式爐標(biāo)準(zhǔn)尺寸

1600℃ CVD管式爐標(biāo)準(zhǔn)尺寸