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靜電吸盤(pán)，是一種適用于大氣或真空環(huán)境的超潔凈薄片承載體、抓取搬運(yùn)設(shè)備的總稱(chēng)。業(yè)內(nèi)簡(jiǎn)稱(chēng)為ESC或E-CHUCK，靜電吸盤(pán)所使用的靜電吸附技術(shù)是一種替代傳統(tǒng)機(jī)械夾持、真空吸附方式的優(yōu)勢(shì)技術(shù)，在半導(dǎo)體、面板顯示、光學(xué)等領(lǐng)域中有著廣泛應(yīng)用。
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