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公斤級(jí)硅負(fù)極(硅碳、硅氧碳)cvd爐
公斤級(jí)硅負(fù)極(硅碳、硅氧碳)cvd爐

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臨沂東木窯爐設(shè)備有限公司

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公斤級(jí)硅負(fù)極(硅碳、硅氧碳)cvd爐

適用物料:納米硅、硅氧(氧化亞硅)、多孔硅

使用工況:CVD氣相沉積碳包覆(一次包覆、二次包覆)

均勻包覆碳含量:1.6%-22%(可控可調(diào))

適用氣體:氮?dú)?、氬氣、甲烷、乙炔、氨氣(丙酮、苯、乙醇、瀝青等)

公司備有多臺(tái)公斤級(jí)、百公斤級(jí)硅負(fù)極用cvd爐系統(tǒng)供客戶實(shí)驗(yàn)用,公司目前已完成300+批次的硅負(fù)極cvd實(shí)驗(yàn),通過(guò)客戶反饋實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)不斷優(yōu)化cvd爐的設(shè)計(jì)。通過(guò)大量積累了豐富的cvd經(jīng)驗(yàn)。

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