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PS系列干式螺桿真空泵
PS系列干式螺桿真空泵

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PS系列干式螺桿真空泵


廣泛應(yīng)用于面板、太陽(yáng)能、冶金系統(tǒng)、鍍膜、電漿制程、干燥處理、制程氣體抽取、制程氣體抽取、生技/制藥、化工產(chǎn)業(yè)。

排氣路徑短,減少反應(yīng)物沉積

線型密封性佳,泵浦性能優(yōu)

結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,故障率低,維修容易

微電腦操作,遠(yuǎn)端監(jiān)控,保護(hù)周全

500-1500m3/h(50Hz)

600-1800m3/h(60Hz)

1X10-3mbar

 

 





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