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5-10萬元型號
YHGS-120613I-3ZGPE品牌
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簡介
PECVD工藝中由于等離子體中高速運(yùn)動的電子撞擊到中性的反應(yīng)氣體分子，就會使中性反應(yīng)氣體分子變成碎片或處于激活的狀態(tài)容易發(fā)生反應(yīng)；借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜；具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點(diǎn)；
1200℃高真空PECVD系統(tǒng)通過滑動爐體來實(shí)現(xiàn)快速的升降溫，配置不同的真空系統(tǒng)來達(dá)到理想的真空度；同時通過多路高精度質(zhì)量流量計控制不同氣體。 主要應(yīng)用于高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備，生長薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復(fù)合薄膜等，也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用。同時上海煜志良好的售后服務(wù)體系，使得該產(chǎn)品的整體評價遠(yuǎn)超同行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
主要技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) | 整機(jī)采用SUS304不銹鋼材質(zhì)，流線型外觀，斷熱式結(jié)構(gòu)； 日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好； 爐子底部裝有一對滑軌，移動平穩(wěn)； 爐子可以手動從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻； 爐蓋可開啟，可以實(shí)時觀察加熱的物料 |
尺寸重量 | 1730*660*1130mm；凈重：210kg |
電源 | 電壓：AC220V 50/60Hz；功率：4KW |
爐管 | 高純石英管，高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)極小； 尺寸：Φ60*1300mm |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空； 一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷； 可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐； 包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合 |
加熱系統(tǒng) | 加熱元件采用康泰爾發(fā)熱絲，表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用； 加熱區(qū)長度：300mm 恒溫區(qū)長度：150mm； 工作溫度：≤1150℃； **溫度：1200℃； 升溫速率：10℃/min |
溫控系統(tǒng) | 日本富士溫控儀表，64段控溫程序，可分步、分段 |
混氣系統(tǒng) | 三路質(zhì)量流量計：數(shù)字顯示、氣體流量自動控制；內(nèi)置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥；管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套；每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥；通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量流量規(guī)格：0~1000sccm（可選）； 流量精度：±1.5% |
高真空系統(tǒng) | 采用雙級旋片真空泵+分子泵，極限真空可達(dá)4.0*10^-4Pa； 復(fù)合真空計，配置電阻規(guī)+電離規(guī) 抽速：110L/S； 冷卻：風(fēng)冷； 電源:AC220V 50/60Hz |
射頻電源系統(tǒng) | 輸出功率:0-300W；功率穩(wěn)定度：±0.1%；射頻電源頻率:13.56MHz 穩(wěn)定性±0.005%；**反向功率:120W；射頻電源電子輸出端口:UHF； 冷卻:風(fēng)冷； 電源:AC187-253V 50/60Hz |
可選配件 | 各種剛玉、石英坩堝，石英管，計算機(jī)控制軟件 |
保修卡 | 整機(jī)一年保修（相關(guān)耗材除外） |
可根據(jù)客戶要求定制！
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2025年5月15日至17日，備受矚目的第十七屆中國國際電池技術(shù)交流會/展覽會（CIBF2025）在深圳國際會展中心盛大舉行。作為全球新能源領(lǐng)域的頂級盛會，本屆展會匯聚了來自全球的3000多家參展商，
當(dāng)前，全球制造業(yè)正加速邁向高端化、智能化，有色金屬作為關(guān)鍵工業(yè)材料，其初晶溫度、導(dǎo)電性、導(dǎo)熱性等核心指標(biāo)正面臨更高要求——在新能源儲能與先進(jìn)冶金領(lǐng)域，熔鹽體系的電導(dǎo)率檢測精度需控制在±0.5%以內(nèi)，初
挑戰(zhàn)機(jī)遇，同心筑夢碳納米管（CNT）憑借卓越的力學(xué)、電學(xué)和熱學(xué)性能，正迅速走進(jìn)國家戰(zhàn)略和各行業(yè)龍頭企業(yè)的視野。然而，高成本、低良品率和技術(shù)難題依然是產(chǎn)業(yè)化路上的瓶頸。據(jù)QYResearch數(shù)據(jù)顯示，2
熔體，是一種在高溫下的呈液態(tài)的材料，如冶金中的電解質(zhì)、光熱發(fā)電系統(tǒng)中儲熱熔鹽、液態(tài)金屬錫稼銦、鉛鉍、熔融玻璃、鋼液、熔渣等等這類材料因在高溫下，強(qiáng)腐蝕、有的易揮發(fā)，導(dǎo)致這類材料的物理性質(zhì)難以測定，但在
在電動汽車和可再生能源蓬勃發(fā)展的今天，鋰離子電池作為核心動力源正經(jīng)歷一場材料革命。硅氧（SiOx）和硅碳（Si-C）負(fù)極材料，作為兩種新興的硅基材料，因其各自的優(yōu)勢備受關(guān)注。那么，誰將在下一代鋰電池技
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