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一、技術(shù)參數(shù)：

結(jié)構(gòu)形式                          正排量風(fēng)機(jī)

體積流量                          110 止于  15.570 m3/h

介質(zhì)                                 空氣 , 中性氣體 , 腐蝕性氣體

輸送                                無(wú)油

FINAL VACUUM              **表壓（單位：10^-5mbar）

PRESSURE DIFFERENCE   **表壓（單位：10^-5 - 200mbar）

二、概述：

適用于工業(yè)高真空技術(shù)的正排量風(fēng)機(jī)。

帶有密閉式驅(qū)動(dòng)裝置的 AERZEN 鼓風(fēng)機(jī)經(jīng)過(guò)專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)，可輸送中性（HM 設(shè)計(jì)）和腐蝕性（CM 設(shè)計(jì)）氣體，用于工業(yè)高真空技術(shù)。 此系列的特點(diǎn)是高能效和高可靠性。

適用于腐蝕性氣體的 CM 系列版本：

• AERZEN CM 系列共可選 14 種結(jié)構(gòu)尺寸，適用的理論進(jìn)氣流量范圍從 110 m3/h 到 15,340 m3/h，適用的壓力范圍在 10^-5 mbar **壓力以?xún)?nèi)。 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)一覽：

• 通過(guò) ATEX 0 區(qū)認(rèn)證（內(nèi)部）

• 4 種不同電機(jī)變體，實(shí)現(xiàn)**選擇

• 機(jī)械負(fù)載較高（高達(dá) 150 mbar），因此縮短了泵送時(shí)間

• 僅消耗極少水、氮和油

• 適用于凈室環(huán)境應(yīng)用

• 借助變頻器實(shí)現(xiàn)較大的控制范圍（從 1.450 到 7.400 rpm，或從 1.240 到 2.900 rpm）

• 可選擇縱向或水平輸送方向

適用于中性氣體的 HM 系列版本：

• AERZEN HM 系列可選 9 種結(jié)構(gòu)尺寸，在 10^-5 mbar 的**真空壓力條件下，適用的理論進(jìn)氣流量范圍從 406 m3/h 到 15,570 m3/h。 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)一覽：

• 4 種不同電機(jī)變體，實(shí)現(xiàn)**選擇

• 機(jī)械強(qiáng)度較高（HM 系列高達(dá) 230 mbar），因而大幅縮短泵送時(shí)間

• 耗水量、耗氮量低

• 適用于凈室環(huán)境應(yīng)用

• 借助變頻器實(shí)現(xiàn)較大的控制范圍，各項(xiàng)參數(shù)針對(duì) AERZEN 密閉式電機(jī)鼓風(fēng)機(jī)進(jìn)行過(guò)調(diào)整，卓有成效

• 可選擇縱向或水平流動(dòng)方向

三、性能：

AERZEN 密閉式電機(jī)鼓風(fēng)機(jī)大幅縮短泵送時(shí)間，從而提高了產(chǎn)量。 這是工藝優(yōu)化的一大進(jìn)步。

設(shè)計(jì)與結(jié)構(gòu)

AERZEN 真空泵的殼體法蘭之處配有 O 形圈密封件。 風(fēng)機(jī)頭還有真空密閉性和空氣冷卻等其他重要優(yōu)勢(shì)。 由濺油潤(rùn)滑裝置提供潤(rùn)滑油。 礦物油和 PFPE 油都可以作為潤(rùn)滑劑，PFPE 油通常用于半導(dǎo)體技術(shù)。 密閉式電機(jī)鼓風(fēng)機(jī)在輸送室和軸承室配有專(zhuān)用的矩形圓環(huán)—迷宮—密封件。 另外還安裝了一個(gè)配有冷凝通道的大尺寸中和室。 或者，中和室可以用密封氣體沖洗，以實(shí)現(xiàn)更強(qiáng)的密封效果。 一體化密閉式電機(jī)可確保對(duì)驅(qū)動(dòng)軸的密封。 因此無(wú)需連接大氣的軸通道，從而可以從技術(shù)上實(shí)現(xiàn)明顯更高的轉(zhuǎn)速。

四、應(yīng)用：

帶有密閉式驅(qū)動(dòng)裝置的 AERZEN 鼓風(fēng)機(jī)經(jīng)過(guò)專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)，可輸送中性（HM 系列）和腐蝕性（CM 系列）氣體，專(zhuān)用于工業(yè)高真空技術(shù)。 密閉式電機(jī)鼓風(fēng)機(jī)始終結(jié)合前級(jí)泵使用*。 
此前級(jí)泵在大氣壓力條件下開(kāi)始運(yùn)行。 通常在大約 50 至 200 mbar 的條件下連接密閉式電機(jī)鼓風(fēng)機(jī)，然后泵送流程啟動(dòng)。 根據(jù)應(yīng)用的不同，可以使用液環(huán)泵、滑片式真空泵、螺桿真空泵或鼓風(fēng)機(jī)作為前級(jí)泵。 配有 AERZEN 變頻器并使用專(zhuān)用參數(shù)集時(shí)，前級(jí)泵也可以在大氣壓力條件下運(yùn)行。

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體行業(yè)

• 微電子工業(yè)

• 平面屏幕制造

• 激光技術(shù)

• 太陽(yáng)能技術(shù)

• 氦檢漏裝置

• 化學(xué)工藝技術(shù)

• 箔紙和玻璃噴漆

• 熔爐制造

• 氫的提取

*使用帶有密閉式驅(qū)動(dòng)裝置的 AERZEN 真空鼓風(fēng)機(jī)時(shí)，必須配備額外的前級(jí)泵（多級(jí)系統(tǒng)）。