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| 半自動(dòng)分析探針臺(tái) | |||||
| 型號 | SHCV-6 | SHCV-8 | SHCV-12 | ||
| 外形 | 860mm*850mm*700mm | 880mm*860mm*750mm | 1300mm*920mm*920mm | ||
| 重量 | 約180KG | 約250KG | 約380KG | ||
| 電力需求 | AC220V,50~60HZ | ||||
| Chuck | 尺寸 | 6英寸 | 8英寸 | 12英寸 | |
| X-Y軸行程 | 6*6英寸 | 8*8英寸 | 12*12英寸 | ||
| X-Y軸移動(dòng)解析度 | 0.1um | ||||
| X-Y軸重復(fù)定位精度 | ±1um | ||||
| 移動(dòng)速度 | ≥ 50 mm/sec | ||||
| Z軸行程 | 10mm | ||||
| Z軸移動(dòng)解析度 | 0.1um | ||||
| Z軸重復(fù)定位精度 | ±1um | ||||
| Theta角度行程 | ±10° | Theta角度解析度 | 0.0001° | ||
| 樣品固定方式 | 多孔真空吸附，獨(dú)立分區(qū)控制 | ||||
| 切換樣品功能 | 樣品臺(tái)快速拉出 | ||||
| 結(jié)構(gòu) | 同軸高壓設(shè)計(jì)，鍍金，電學(xué)獨(dú)立懸空，可作為背電極使用 | ||||
| 針座平臺(tái) | 規(guī)格 | O型平臺(tái)，*多可放置8個(gè)針座 | O型平臺(tái)，*多可放置10個(gè)針座 | O型平臺(tái)，*多可放置12個(gè)針座 | |
| 行程&調(diào)節(jié)方式 | 平臺(tái)可以快速升降，行程6mm并帶自動(dòng)鎖定功能 | ||||
| 溫控特性 | 溫度范圍 | ﹣100~200℃ | ﹣80~200℃ | ﹣60~200℃ | |
| 溫控精度 | 溫度分辨率 ： 0.01°C | ||||
| 加熱電源 | LVDC 低壓直流 | ||||
| *低控溫速率 | ±0.1°C /小時(shí) | ||||
| 傳感器 | Pt100 | ||||
| 制冷方式 | 液氮制冷或者壓縮機(jī)制冷 | ||||
| 軟件功能 | wafer map的編輯 | 光學(xué)特性 | 顯微鏡行程 | 2*2inch | |
| 儀器的接入 | 顯微鏡行程 | 1um | |||
| 數(shù)據(jù)的采集和圖像化顯示 | 放大倍數(shù) | 20-4000X | |||
| 數(shù)據(jù)的分析 | CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字） | |||
| 差異數(shù)據(jù)的標(biāo)定Ink mark | 點(diǎn)針規(guī)格 | 點(diǎn)針精度 | 10微米/2微米/0.7微米 | ||
| 自定義Bin分 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
| 自動(dòng)測試 | 漏電精度 | 10pA/100fA | |||
| 通訊接口：RS232/484TCP/IP/,GPIB等 | 接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA，SHV接口 | |||
| 大功率規(guī)格 | 配置 | 大功率kelvin樣品臺(tái) | 減震 | 主動(dòng)式減震系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫面不抖動(dòng) | |
| 大功率夾具線纜 | 可選附件 | 射頻測試 | chuck快速拉出裝置 | ||
| mult-pin 分流探針 | 卡盤鍍金 | PCB板夾具 | |||
| 大功率保護(hù)模塊（針座用） | 激光修復(fù) | 液晶熱點(diǎn)偵測套裝 | |||
| 保護(hù)紅外光幕，防止人員誤進(jìn)入工作區(qū)，觸發(fā)時(shí)interlock互鎖 | 探針卡夾具 | 光強(qiáng)/波長測試接口部件 | |||
| 大功率儀器連接模塊 | 屏蔽箱 | 高低溫樣品臺(tái)（-80~200℃） | |||
| **測試電壓 | 10KV | 加熱臺(tái) | 顯微鏡傾仰裝置 | ||
| **測試電流 | 500A（脈沖） | 應(yīng)用方向 | 晶圓測試，功率器件半自動(dòng)測試 | ||
| 特點(diǎn)： | |||||
| Si/SiC/GaN等晶圓測試 | 超高的測試精度和測試效率 | ||||
| 大功率晶圓測試 | 便捷的儀器接入 | ||||
| （-80~200℃）高低溫Chuck | 半自動(dòng)測試 | ||||
| 20~4000X光學(xué)顯微放大 | 可升級全自動(dòng)測試 | ||||
| 功能豐富的測試軟件 | 可升級射頻測試 | ||||
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