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一、硅烷的性質(zhì)
硅烷也稱矽烷，是化學(xué)分子式為SiH4的一種化合物，該氣體無色無臭，密度1.44克/升，熔點(diǎn)-185℃，沸點(diǎn)-111.8℃，不溶于水。在室溫下硅烷是一種易燃的氣體，在空氣中無需加火源，硅烷就可以自燃，生成二氧化硅和水，并放出大量的熱量，可被一般氧化劑氧化。
二、燃燒塔原理
本燃燒塔采用燃燒洗滌法凈化硅烷氣體，它分別有一級(jí)燃燒塔和二級(jí)燃燒洗滌塔組成。
根據(jù)硅烷(矽烷)在空氣中自燃的特性，特在燃燒塔中設(shè)置密閉燃燒室，為保證硅烷在燃燒室內(nèi)充分燃燒，必須保證燃燒塔內(nèi)負(fù)壓，控制在-100Pa左右。
三、適用范圍
我公司生產(chǎn)的硅烷燃燒塔，主要用于單晶硅、多晶硅行業(yè)生產(chǎn)中產(chǎn)生的硅烷尾氣凈化。該設(shè)備的成功應(yīng)用，主要是我公司技術(shù)人員對(duì)國(guó)外半導(dǎo)體行業(yè)凈化硅烷尾氣技術(shù)方面的消化吸收，來滿足國(guó)內(nèi)太陽能、光能行業(yè)，半導(dǎo)體行業(yè)及CVD化學(xué)氣體沉積工藝中產(chǎn)生的硅烷氣體凈化,有圓形和方形可選。
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