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LZ-Ⅱ離子濺射儀
LZ-Ⅱ離子濺射儀

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型號

LZ-Ⅱ

品牌

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樣本

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南京南大儀器有限公司

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  用途:

  LZ-Ⅱ離子濺射儀是一種小型鍍膜裝置,可用作掃描電鏡、電子探針等儀器進行試樣制備,是開展教學科研實驗的必備儀器。

  鍍膜原理與結(jié)構(gòu):

  LZ-Ⅱ離子濺射儀鍍膜基本原理是基于荷能正離子轟擊靶電極產(chǎn)生濺射現(xiàn)象,靶被濺射出來的中性原子沉淀于基臺上樣品表面成膜,形成導電層。

  該離子濺射儀為二極結(jié)構(gòu),以基臺和樣品架為正電極與儀器外殼相連并接地,濺射靶電極為負電極(加負高壓),它們被安裝在玻璃罩的真空腔內(nèi),當腔內(nèi)達到一定真空度,在負高壓的作用下發(fā)生輝光放電產(chǎn)生等離子體,其中正離子在電場加速下,獲得足夠能量轟擊負電極上的靶面,靶面被濺射原子沉淀于基臺的樣品表面形成導電膜,以供上述儀器分析。

  技術參數(shù):

  1、型號:

  1、真空腔:¢150×12 硼酸硅質(zhì)玻璃

  2、濺射靶尺寸:¢55×0.3

  3、基臺: ¢50 6-8個樣品

  4、極間距調(diào)節(jié)范圍20-40mm

  5、濺射電壓: -2000V-0 DC連續(xù)可調(diào)

  濺射電流0-30 mA

  6、定時器:0-99分數(shù)字顯示

  7、真空測量:1×105-1.0×10-1pa 數(shù)字顯示,單片機控制,數(shù)字顯示,具有真空保護鎖設置。

  8、控制系統(tǒng):單片機控制,完成真空自動測量、顯示、定時器倒計時功能以及自動完成鍍膜程序。

  9、真空泵:2L/S二級旋片式直聯(lián)機械泵,極限真空度6×10-1pa

  10、充氣閥:金屬微調(diào)針型閥 保護氣體 99.9%純度氬氣(推薦)

  11、外形尺寸:長354mm ×高216mm ×深340mm

  12、電源:AC 220V 50HZ

  特點:

  1、人性化設計,整體性好;

  2、單片機控制,操作方便簡潔;

  3、用戶可根據(jù)實驗需要自由設置濺射操作的工藝參數(shù),使用靈活、方便;

  4、儀器有真空鎖保護設置,使儀器可靠性安全性好;

  5、本產(chǎn)品已獲得國家**,**號:201220093483.0


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10分

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