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高精度程控勻膠機
高精度程控勻膠機

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型號

SYSC-100

品牌

產(chǎn)地

樣本

暫無
上海三研科技有限公司.

會員

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第8年

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SYSC-100高精度程控勻膠機 旋涂儀 Spin Coater,是**一代旋轉涂膜設備。  精密高速伺服電機驅動,轉速達8000rpm,轉速精準。 **旋轉加速度可達40000rpm/s(有負載的真實加速度)。 全自動程序控制。  超強耐腐蝕,304不銹鋼機身,腔體采用NPP材料,旋轉臺采用PEEK材料。 安全保護功能,真空吸片檢測,腔體關閉檢測。  主要用于微電子、半導體、制版、新能源、生物材料、光學器件等領域的表面涂膜工藝,例如各類納米薄膜材料、光阻涂覆、生物功能涂層的制備

一.    產(chǎn)品應用  

SYSC-100高精度程控勻膠機(Spin Coater),又稱為旋轉涂膜儀,是**一代旋轉涂膜設備。具有速度精度高、轉速穩(wěn)定、旋轉加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點。主要用于微電子、半導體、太陽能電池、新能源、生物材料、光學器件等領域的表面涂膜工藝,例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。  


 

二.    產(chǎn)品特點  

1.     旋轉電機采用專為勻膠機設計的精密高速伺服電機,具有高精度、高穩(wěn)定性、高可靠性。  

2.     優(yōu)異的旋轉加速性能,**旋轉加速度可達20000rpm/s(有負載的真實加速度)。  

3.     兩項安全互鎖功能  

 (1) 勻膠腔體具有開啟、關閉的檢測功能,確保腔體關閉后才可啟動,防止勻膠過程中飛片造成人身傷害;  

 (2) 真空吸片具有真空檢測功能,若發(fā)生真空泄漏,基片無法吸附牢固,則立即停止運行。  

4.     機身外殼采用SUS304不銹鋼制作,防腐蝕、不生銹、易清潔。  

5.     勻膠腔體采用德國勞士領NPP材料,經(jīng)CNC一體加工成型。接儲脫離基片的膠液,避免進入真空管路和設備內部。耐腐蝕、易清潔。  

6.     旋轉吸片臺采用德國勞士領PEEK材料,經(jīng)CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形  

7.     勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程*多可分十段進行,每段的加速時間、旋轉速度、勻膠時間均可精密控制、連續(xù)可調。可儲存50組工藝程序,隨時調用。  

8.     7英寸液晶觸摸屏使控制更方便;運行狀態(tài)及各項參數(shù)實時顯示,更直觀了解勻膠進程;  

9.     真空泵的開啟與關閉均為自動程序控制,無需手動操作。  

10.    旋轉前增加預吸片步驟,預吸片時間*多為99s,確?;喂涛接谛D臺后再進行旋轉涂膜。勻膠完成后增加解吸片  

        步 驟,解吸片時間*多為99s,確保安全停止后再切斷真空,釋   放基片,防止涂膜后的基片滑落,對膜層造成損傷。  

11.    標配無油真空泵,低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉臺,防止飛片。  


 

三.    技術參數(shù)  

產(chǎn)品型號  

SYSC-100  

可鍍膜基片尺寸  

?10100mm  

旋轉速度  

1010000rpm  

轉速分辨率  

1rpm  

速度精度  

0.02%  

旋涂加速度*  

020000rpm/s  

每段加速時間  

999.9s  

每段旋涂時間  

9999.9s  

時間分辨率  

0.1s  

預吸片時間  

99s  

解吸片時間  

99s  

***旋涂加速度為有負載條件下(使用≤?50mm基片)的真實加速度.  

創(chuàng)新點

全自動程序控制。 超強耐腐蝕,304不銹鋼機身,腔體采用NPP材料,旋轉臺采用PEEK材料。 安全保護功能,真空吸片檢測,腔體關閉檢測。

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產(chǎn)品質量

10分

售后服務

10分

易用性

10分

性價比

10分
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