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高精度程控勻膠機(jī)
高精度程控勻膠機(jī)

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型號(hào)

SYSC-100

品牌

產(chǎn)地

樣本

暫無
上海三研科技有限公司.

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第8年

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SYSC-100高精度程控勻膠機(jī) 旋涂?jī)x Spin Coater,是**一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備。  精密高速伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),轉(zhuǎn)速達(dá)8000rpm,轉(zhuǎn)速精準(zhǔn)。 **旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)40000rpm/s(有負(fù)載的真實(shí)加速度)。 全自動(dòng)程序控制。  超強(qiáng)耐腐蝕,304不銹鋼機(jī)身,腔體采用NPP材料,旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用PEEK材料。 安全保護(hù)功能,真空吸片檢測(cè),腔體關(guān)閉檢測(cè)。  主要用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝,例如各類納米薄膜材料、光阻涂覆、生物功能涂層的制備

一.    產(chǎn)品應(yīng)用  

SYSC-100高精度程控勻膠機(jī)(Spin Coater),又稱為旋轉(zhuǎn)涂膜儀,是**一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備。具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、旋轉(zhuǎn)加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點(diǎn)。主要用于微電子、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能電池、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝,例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。  


 

二.    產(chǎn)品特點(diǎn)  

1.     旋轉(zhuǎn)電機(jī)采用專為勻膠機(jī)設(shè)計(jì)的精密高速伺服電機(jī),具有高精度、高穩(wěn)定性、高可靠性。  

2.     優(yōu)異的旋轉(zhuǎn)加速性能,**旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)20000rpm/s(有負(fù)載的真實(shí)加速度)  

3.     兩項(xiàng)安全互鎖功能  

 (1) 勻膠腔體具有開啟、關(guān)閉的檢測(cè)功能,確保腔體關(guān)閉后才可啟動(dòng),防止勻膠過程中飛片造成人身傷害;  

 (2) 真空吸片具有真空檢測(cè)功能,若發(fā)生真空泄漏,基片無法吸附牢固,則立即停止運(yùn)行。  

4.     機(jī)身外殼采用SUS304不銹鋼制作,防腐蝕、不生銹、易清潔。  

5.     勻膠腔體采用德國(guó)勞士領(lǐng)NPP材料,經(jīng)CNC一體加工成型。接儲(chǔ)脫離基片的膠液,避免進(jìn)入真空管路和設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕、易清潔。  

6.     旋轉(zhuǎn)吸片臺(tái)采用德國(guó)勞士領(lǐng)PEEK材料,經(jīng)CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形  

7.     勻膠過程全自動(dòng)分段程序控制。整個(gè)勻膠過程*多可分十段進(jìn)行,每段的加速時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時(shí)間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)??蓛?chǔ)存50組工藝程序,隨時(shí)調(diào)用。  

8.     7英寸液晶觸摸屏使控制更方便;運(yùn)行狀態(tài)及各項(xiàng)參數(shù)實(shí)時(shí)顯示,更直觀了解勻膠進(jìn)程;  

9.     真空泵的開啟與關(guān)閉均為自動(dòng)程序控制,無需手動(dòng)操作。  

10.    旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟,預(yù)吸片時(shí)間*多為99s,確保基片牢固吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái)后再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片  

        步 驟,解吸片時(shí)間*多為99s,確保安全停止后再切斷真空,釋   放基片,防止涂膜后的基片滑落,對(duì)膜層造成損傷。  

11.    標(biāo)配無油真空泵,低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái),防止飛片。  


 

三.    技術(shù)參數(shù)  

產(chǎn)品型號(hào)  

SYSC-100  

可鍍膜基片尺寸  

?10100mm  

旋轉(zhuǎn)速度  

1010000rpm  

轉(zhuǎn)速分辨率  

1rpm  

速度精度  

0.02%  

旋涂加速度*  

020000rpm/s  

每段加速時(shí)間  

999.9s  

每段旋涂時(shí)間  

9999.9s  

時(shí)間分辨率  

0.1s  

預(yù)吸片時(shí)間  

99s  

解吸片時(shí)間  

99s  

***旋涂加速度為有負(fù)載條件下(使用≤?50mm基片)的真實(shí)加速度.  

創(chuàng)新點(diǎn)

全自動(dòng)程序控制。 超強(qiáng)耐腐蝕,304不銹鋼機(jī)身,腔體采用NPP材料,旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用PEEK材料。 安全保護(hù)功能,真空吸片檢測(cè),腔體關(guān)閉檢測(cè)。

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用戶評(píng)論

產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
暫無評(píng)論!
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