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中國粉體網(wǎng)訊  隨著半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展，材料創(chuàng)新成為突破性能瓶頸的關(guān)鍵。金剛石憑借其卓越的硬度、導(dǎo)熱性及潛在的半導(dǎo)體特性，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的多個環(huán)節(jié)中已展現(xiàn)出巨大的發(fā)展?jié)摿蛻?yīng)用價值。其中，金剛石微粉作為磨拋料，以其超精密加工能力，顯著提升了半導(dǎo)體晶片的表面質(zhì)量和生產(chǎn)效率，成為半導(dǎo)體制造不可或缺的一環(huán)。

從2024半導(dǎo)體行業(yè)用金剛石材料技術(shù)大會組委會獲悉，本屆會議將于2024年12月24日在鄭州舉辦。北京中科美安科技有限公司作為參展單位邀請您共同出席。

北京中科美安科技有限公司

公司以⼤連化學(xué)物理研究所為技術(shù)依托，研發(fā)系列⾦屬鈀復(fù)合膜超純氫⽓純化器，⽤于制取超⾼純氫⽓。

實現(xiàn)6N ~ 9N ~ 12N超⾼純度，滿⾜半導(dǎo)體、多晶硅、⼈造鉆⽯加⼯、航天、軍⼯、⽯油化⼯等領(lǐng)域?qū)Τ?#12220;純氫⽓的需求。

20年深度積累核⼼技術(shù)

來自中科院⼤連化物所，20年研發(fā)積累，獨家超薄⾦屬鈀復(fù)合膜技術(shù)，⾼質(zhì)量實現(xiàn)氫提純能⼒。獲得國家發(fā)明專利兩項。全國第⼀，全球TOP3。

相⽐PSA，化學(xué)吸附技術(shù)，鈀膜是實現(xiàn)氫⽓超⾼純化的最佳⽅案。

⾦屬鈀能以溶解-擴散的⽅式選擇性透過氫⽓，簡單來講，只有氫⽓能透過鈀膜，其他⽓體都透不過去，因此分離氫⽓的純度能達到8個9以上。上世紀70年代就已經(jīng)被⽤于為半導(dǎo)體⾏業(yè)提供超純氫。但⽬前國內(nèi)市場上主要是進⼝的鈀管產(chǎn)品，厚度⾄少在15微⽶以上，價格昂貴，⽽且其透氫量很低，裝置投資和分離能耗很⾼，制氫成本和制氫規(guī)模⽆法滿⾜未來規(guī)?；瘧?yīng)⽤的需求。將⾦屬鈀膜負載在多孔⽀撐體的表⾯，可以制備⾦屬鈀復(fù)合膜，厚度可以降低到5微⽶左右，制備廉價的⾦屬鈀復(fù)合膜，同傳統(tǒng)鈀管相⽐，其貴⾦屬⽤量降低10倍，并且可以獲得更⼤的透氫量，使裝置投資和純化成本⼤幅度降低，具有明顯的技術(shù)經(jīng)濟優(yōu)勢。

量產(chǎn)能⼒

突破超薄不銹鋼鈀膜制備瓶頸，達到DOE2015指標(biāo)國際上率先攻克制備難題并批量⽣產(chǎn)，成品率>90%；

多孔不銹鋼底膜制備突破國外壟斷，成本下降90%；

綜合成本相較國際解決⽅案降低95%。

已交付使⽤

• 北京冬奧會液態(tài)陽光加氫站（李燦院⼠項⽬）50kg/天；

• H公司產(chǎn)線60臺應(yīng)⽤，7N ~ 10N 純度；

• 某⼈造鉆⽯企業(yè)，40臺應(yīng)⽤，7N ~ 10N 純度；

• 四川某多晶硅產(chǎn)線應(yīng)⽤，7N純度，200Nm³/h流速

產(chǎn)品型號列表

適配于⼩流量場景下的鈀膜氫⽓純化解決⽅案。

同時還具備超⼤流量和12N級氫純化⽅案：

最⾼純度可達12N；

最⾼流量可達800Nm³

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會務(wù)組

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