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中國粉體網(wǎng)訊  隨著新能源汽車、5G、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等行業(yè)的蓬勃發(fā)展，以碳化硅、氮化鎵為代表的第三代寬禁帶半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)規(guī)模不斷擴大，先進陶瓷在半導(dǎo)體行業(yè)將迎來更大的應(yīng)用市場。

從第一屆半導(dǎo)體行業(yè)用陶瓷材料技術(shù)研討會組委會獲悉，本屆會議將于2022年7月13日在濟南舉辦。三責(zé)（上海）新材料科技有限公司作為參展單位邀請您共同出席。

三責(zé)（上海）新材料科技有限公司成立于2014年，公司管理總部位于上海， 研發(fā)基地和生產(chǎn)工廠位于江蘇省南通開發(fā)區(qū)。

公司致力于碳化硅陶瓷研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和工程應(yīng)用，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于精細化工和制藥、環(huán)保工程、航空航天、石油化工、新能源材料、電子玻璃、微電子和半導(dǎo)體、光學(xué)、高溫工業(yè)窯爐等領(lǐng)域。

公司擁有核心材料自主知識產(chǎn)權(quán)，強勁的新產(chǎn)品、新應(yīng)用開發(fā)能力，為各領(lǐng)域客戶提供優(yōu)質(zhì)實用的高性能碳化硅陶瓷解決方案，推動高性能碳化硅陶瓷在節(jié)能環(huán)保和精密制造的應(yīng)用。

產(chǎn)品展示

1、碳化硅三角支架

2、碳化硅機械手臂

Coresic® SP碳化硅機械手臂經(jīng)等靜壓工藝成型、高溫?zé)Y(jié)而成?？筛鶕?jù)用戶設(shè)計圖紙要求進行外形尺寸，厚度尺寸和形狀進行精加工，以滿足用戶的具體使用要求。

• 典型應(yīng)用
  

用于半導(dǎo)體各制程中晶圓的傳輸。

• 特點和優(yōu)勢

具有精確的尺寸和熱穩(wěn)定性

高比剛度和出色的熱均勻性，長期使用不易彎曲變形；

具有光滑的表面，耐磨性佳，從而安全地處理晶片而不產(chǎn)生顆粒污染。

Coresic® SP碳化硅電阻率在106-108Ω、無磁性，符合抗ESD的規(guī)范要求；可以防止靜電在晶片表面積聚。

良好的導(dǎo)熱性、低膨脹系數(shù)。

• 規(guī)格型號

可以根據(jù)客戶的圖紙，加工不同形狀和尺寸的手臂。

3、碳化硅真空吸盤

Coresic® SP碳化硅真空吸盤經(jīng)等靜壓工藝成型、高溫?zé)Y(jié)而成?？筛鶕?jù)用戶設(shè)計圖紙要求進行外形尺寸，厚度尺寸和形狀進行精加工，以滿足用戶的具體使用要求。

• 典型應(yīng)用

在半導(dǎo)體制造中，將極薄的晶圓放置在碳化硅真空吸盤上，連接真空發(fā)生器，利用真空吸力使晶圓固定。

應(yīng)用于光刻、刻蝕、激光處理、晶圓檢測等制程。

• 特點和優(yōu)勢

具有精確的尺寸和熱穩(wěn)定性

良好的導(dǎo)熱性、低膨脹系數(shù)和均溫性能

極高的耐磨性和表面光潔度，孔徑細小且分布均勻，對晶圓各區(qū)域可以均勻吸附

具有優(yōu)秀的耐酸堿腐蝕性能

耐電漿沖擊性

• 規(guī)格型號

可以根據(jù)客戶的圖紙定制加工。

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會務(wù)組

聯(lián)系人：孔經(jīng)理

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